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セラミック吸着テーブル

E-9935

E-9935/セラミック吸着テーブル

材質
上面:アルミナ系セラミックス
ベース:SUS303
特長
[CAT-S(R)]平均気孔径:55μm 平均気孔率:45~50%
[CAT-SM(RM)]平均気孔径:2μm 平均気孔率:40%

■グリーンシート、ポリイミドフィルム、軽軟材・薄物材などの吸着に便利です。
■多孔質セラミックス吸着テーブルです。
■気孔径が平均55μmと機械加工による穴径に比べ小さく、被吸着物の変形量が少なくなります。
■気孔径2μmタイプは着面を全面覆わない部分的な吸着をマスキングなしでできます。また、剛性の低い極薄(板厚数μm)を変形せずに吸着できます。
■セラミックス内部からの粉塵がでません。
■セラミックスとSUS材からできており高防錆です。
■目詰まり・セラミックス欠けの修理が可能です。
■最大900㎜×900㎜まで標準品以外の寸法も製作できます。

仕様/価格

オーダーNo. No. サイズ 平面度(μm) 質量kg 価格 寸法図 製品
BOX
CAD 在庫
設定
在庫
状況
978845 CAT0507S 70 15 0.6 229,000 確認 追加 DATA × 問合せ
978846 CAT1012S 120 15 1.5 325,000 確認 追加 DATA × 問合せ
978847 CAT1518S 180 15 3.4 479,000 確認 追加 DATA × 問合せ
978848 CAT2023S 230 15 5.6 620,000 確認 追加 DATA × 問合せ
978849 CAT2528S 280 25 11.3 765,000 確認 追加 DATA × 問合せ
978850 CAT3033S 330 25 15.7 920,000 確認 追加 DATA × 問合せ
978851 CAT0507R 70 15 0.4 195,000 確認 追加 DATA × 問合せ
978852 CAT1012R 120 15 1.2 229,000 確認 追加 DATA × 問合せ
978853 CAT1517R 170 15 2.4 281,000 確認 追加 DATA × 問合せ
978854 CAT2022R 220 15 4 410,000 確認 追加 DATA × 問合せ
978855 CAT2527R 270 25 8.2 555,000 確認 追加 DATA × 問合せ
978856 CAT3032R 320 25 11.5 710,000 確認 追加 DATA × 問合せ
117083 CAT0507SM 70 15 0.6 250,000 確認 追加 DATA × 問合せ
117084 CAT1012SM 120 15 1.5 385,000 確認 追加 DATA × 問合せ
117085 CAT1518SM 180 15 3.4 670,000 確認 追加 DATA × 問合せ
117086 CAT2023SM 230 15 5.6 920,000 確認 追加 DATA × 問合せ
117087 CAT2528SM 280 25 11.3 1,080,000 確認 追加 DATA × 問合せ
117088 CAT3033SM 330 25 15.7 1,300,000 確認 追加 DATA × 問合せ
117089 CAT0507RM 70 15 0.4 246,000 確認 追加 DATA × 問合せ
117090 CAT1012RM 120 15 1.2 372,000 確認 追加 DATA × 問合せ
117091 CAT1517RM 170 15 2.4 645,000 確認 追加 DATA × 問合せ
117092 CAT2022RM 220 15 4 820,000 確認 追加 DATA × 問合せ
117093 CAT2527RM 270 25 8.2 985,000 確認 追加 DATA × 問合せ
117094 CAT3032RM 320 25 11.5 1,230,000 確認 追加 DATA × 問合せ

使用例・使用説明

内部構造

 

 

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